设备有限公司不超过51%的股权，收购完成后，预计实现对标的公司的控股。标的公司100%股权的整体估值暂定为不超过人民币10亿元，本次交易对价预计不超过人民币5.10亿元。常州维普是国内极少数在光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，其技术、产品和核心算法系正向自研开发，拥有自主，主要核心零部件实现了国产化和自主可控。标的公司产品已进入国内头部晶圆厂和国内外头部掩膜版厂商的量产线。